隨著真空泵的市場日益擴(kuò)大，真空泵應(yīng)用范圍愈加廣泛，真空泵排放問題也日益突出，每個(gè)地方對(duì)排放的要求是不一樣的，根據(jù)環(huán)保部門的《工業(yè)“三廢”排放試行標(biāo)準(zhǔn)》規(guī)定了工業(yè)廢水、廢氣、廢渣的排放濃度和排放容量標(biāo)準(zhǔn)，其中廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)對(duì)5種工業(yè)部門定出13類有害物質(zhì)的容許濃度和排放量。這些有害物質(zhì)是：二氧化硫、二硫化碳、硫化氫、氟化物、氮氧化物、氯、氯化氫、一氧化碳、硫酸霧、鉛、汞、鈹化物、煙灰和生產(chǎn)性粉塵。大量吸入會(huì)危害人體健康。

在化工生產(chǎn)過程中用來抽真空的真空泵會(huì)產(chǎn)生部分的有機(jī)廢氣，不過真空泵本身不會(huì)產(chǎn)生有機(jī)廢氣，產(chǎn)生的廢氣主要是工作時(shí)用的原材料所產(chǎn)生的，對(duì)于真空泵所產(chǎn)生的尾氣的處理一般可以有冷凝法、吸附法、吸收法、等離子體法等，如果是單一的真空泵可以采用冷凝+緩沖+液封工藝，如果是多臺(tái)真空泵的話則需要做成統(tǒng)一收集，然后通過洗滌凈化，

真空泵所產(chǎn)生的廢氣成分不單一，采用的三種方式的工藝流程，可以使有機(jī)廢氣在收集后通過設(shè)備凈化，然后再經(jīng)過15米煙囪高空排放到大氣中。

1、離子凈化法：采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機(jī)廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當(dāng)有機(jī)氣體進(jìn)入冷離子體反應(yīng)室時(shí)，氣體被均勻分配到等離子反應(yīng)室（PRC）。反應(yīng)室分成149根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反應(yīng)室獨(dú)立隔開。通過高壓線對(duì)反應(yīng)室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產(chǎn)生放電現(xiàn)象。一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產(chǎn)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說的激進(jìn)和負(fù)荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。

2、炭吸附法：主要由活性炭層和承托層組成?；钚蕴烤哂邪l(fā)達(dá)的空隙，比表面積大，具有很高的吸附能力。正是由于活性炭的這種特性，它在水的深度處理中被廣泛應(yīng)用，如生活給水，污水后段的（凈水）深度處理等。 活性炭使用一段時(shí)間后，吸附了大量的吸附質(zhì)，逐步趨向飽和，喪失了工作能力，嚴(yán)重時(shí)將穿透濾層，因此應(yīng)進(jìn)行活性炭的再生或更換。

3、為真空泵安裝排氣過濾器，質(zhì)量好的過濾器過濾后是看不到油煙的，而且過濾后的氣體可以直排，

以上介紹了三種處理真空泵廢氣的方法，其實(shí)方式方法還有很多，主要是真空泵廢氣的管道收集問題，需要設(shè)計(jì)好主管道的管徑，支管道的管徑等，然后采用側(cè)吸風(fēng)還是上吸風(fēng)進(jìn)行收集問題，選擇使用多大風(fēng)量和多大風(fēng)壓的風(fēng)機(jī)，這些都是決定凈化效果的